芯片制造这行当里,光刻胶和光刻机那是绑死的关系。
硅晶圆涂好光刻胶后,光刻机把光线打上去,靠光学化学反应把电路图“印”在晶圆上,芯片就这么出来了。光线得对得上胶的种类,混用不行;胶的质量好坏,直接定生死,关乎良率。
所以光刻胶分得细:G线、I线、KrF、ArF、ArFi、EUV……跟光刻机分类基本一致,应用上也严格对应,跨品类乱用没门儿。
在这块地盘上,日本几乎垄断了全球80%的份额。越高端的技术,它占得越狠,像EUV光刻胶,全世界只有它能造。
中国光刻胶国产化率低是常态。到了2025年,整体国产化率大概在28%左右。而且情况是,越高端的国产率越低。
看数据图就知道,最低端的G线、I线还有65%的国产化率,到了高端的浸润式ArF,不到3%,EUV更是零。
别被28%这个数字迷惑。即便能造出相对先进的ArF光刻胶,生产线上的设备和原料大多还得靠进口,压根不算自主独立。
大家盼着的是全流程100%自主可控,从原料到设备全搞定,这才算真正摆脱卡脖子风险。
现在,终于有人把这事儿办成了。鼎龙股份近日官宣,搞出了国内首条全流程自主高端光刻胶产线,实现了“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”全链条自主制备,彻底甩掉了上游依赖进口的包袱。
这家企业产能一年能达到330吨,纯度高达99.999%,是国内单体规模最大的高端光刻胶产线,足以满足3到5条12英寸晶圆产线一整年的需求。
这条线能产KrF和ArF高端光刻胶,覆盖90nm到28nm制程节点,后续还能往14nm等更先进工艺延伸。
消息一出,估计日本企业最心慌。以前他们靠垄断地位四处制裁,甚至放话断供威胁我们。如今中国企业突破封锁,凭借中国制造的优势,未来产能只会更高、性能更强、成本更低,全球市场份额必将被瓜分,到时候看日本怎么接招?

















